安捷倫氣質(zhì)聯(lián)用儀的真空系統(tǒng)是質(zhì)譜部分的核心組件，其作用是為離子源和質(zhì)量分析器提供高真空環(huán)境，確保離子傳輸和檢測的穩(wěn)定性。
一、真空系統(tǒng)的作用
1.維持高真空環(huán)境：
質(zhì)譜儀的離子源和質(zhì)量分析器需要在高真空下工作，以防止氣體分子與離子碰撞，影響檢測結(jié)果。
真空度不足會(huì)導(dǎo)致靈敏度下降、分辨率降低，甚至無法正常工作。
2.保護(hù)關(guān)鍵部件：
高真空環(huán)境可減少離子源和質(zhì)量分析器的污染，延長其使用壽命。
防止樣品氣體進(jìn)入質(zhì)譜儀內(nèi)部，避免對電子元件的腐蝕。
1.前級泵：
通常是渦輪分子泵或干式渦旋泵，用于初步抽真空，將系統(tǒng)壓力降低到分子泵的工作范圍。
前級泵的性能直接影響真空系統(tǒng)的效率。
2.分子泵：
高抽速的渦輪分子泵是真空系統(tǒng)的核心，負(fù)責(zé)將系統(tǒng)壓力降低至高真空水平。
分子泵通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片將氣體分子抽出。
3.真空規(guī)：
用于實(shí)時(shí)監(jiān)測系統(tǒng)壓力，確保真空度符合要求。
常見的真空規(guī)包括熱偶規(guī)和電離規(guī)。
4.真空管路與閥門：
連接各泵和質(zhì)譜儀的管路需要密封良好，防止漏氣。
閥門用于控制真空泵的啟動(dòng)和停止，以及隔離不同區(qū)域。
捕集器（可選）：
用于吸附泵油蒸氣或其他活性氣體，防止其進(jìn)入質(zhì)譜儀內(nèi)部。
常見類型包括冷阱或化學(xué)捕集器。
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